Mercan, Elif <br/><br/>
Silisyum karbür tek kristalli alttaşın termal dekompozisyon ile yüzey grafitizasyonunda demirin etkisinin araştırılması =  The effect iron on the surface graphitization of single crystalline silicon carbide wafer through thermal decomposition / 
Elif Mercan. 
 - xiii, 52 pages :  graphics, charts, color illustrations ;  29 cm 
<br/><br/>Tez (Yüksek Lisans)--TOBB ETÜ Fen Bilimleri Enstitüsü Ağustos 2017 
<br/><br/>
<br/><br/><label>Subjects--Topical Terms: </label><br/>Tezler, Akademik<br/>Dissertations, Academic
<br/><br/><label>Subjects--Index Terms: </label>Silisyum karbür Dekompozisyon grafitizayson demir Silicon arbide Decomposition Graphitization İron