TY  - BOOK
AU  - Mercan, Elif
ED  - TOBB Ekonomi ve Teknoloji Üniversitesi.
TI  - Silisyum karbür tek kristalli alttaşın termal dekompozisyon ile yüzey grafitizasyonunda demirin etkisinin araştırılması =: The effect iron on the surface graphitization of single crystalline silicon carbide wafer through thermal decomposition 
PY  - 2017///
CY  - Ankara
PB  - TOBB ETÜ Fen Bilimleri Enstitüsü
KW  - Tezler, Akademik
KW  - Dissertations, Academic
KW  - Silisyum karbür
KW  - Dekompozisyon
KW  - grafitizayson
KW  - demir
KW  - Silicon arbide
KW  - Decomposition
KW  - Graphitization
KW  - İron
N1  - Tez (Yüksek Lisans)--TOBB ETÜ Fen Bilimleri Enstitüsü Ağustos 2017; Includes bibliographical references
UR  - https://tez.yok.gov.tr/
ER  -