000			04416nam a2200433 i 4500
001			200464081
003			TR-AnTOB
005			20250311151024.0
007			ta
008			171111s2024 tu ab e mmmm 000 0 tur d
035			_a(TR-AnTOB)200464081
040			_aTR-AnTOB _beng _erda _cTR-AnTOB
041	0		_atur
099			_aTEZ TOBB FBE MNT YL’24 GÜR
100	1		_aGürpınar, Erhan _eauthor _9148333
245	1	0	_aElektron alan emisyonu uygulamalarına yönelik vakum dekompozisyonu tekniği ile silisyum karbür alttaş üzerinde karbon nanoyapıların sentezi ve karakterizasyonu / _cErhan Gürpınar ; thesis advisor Göknur Büke.
246	1	1	_aThe synthesis and characterization of carbon nanostructures on silicon carbide via vacuum decomposition technique for electron field emission applications
264		1	_aAnkara : _bTOBB ETÜ Fen Bilimleri Enstitüsü, _c2024.
300			_axxiv, 94 pages : _billustrations ; _c29 cm
336			_atext _btxt _2rdacontent
337			_aunmediated _bn _2rdamedia
338			_avolume _bnc _2rdacarrier
502			_aTez (Yüksek Lisans)--TOBB ETÜ Fen Bilimleri Enstitüsü Aralık 2024.
520			_aGrafen ve karbon nanotüp (KNT) gibi karbon nanoyapılar, özellikle dik hizalı üretildiklerinde, elektron alan emisyon katotlarında önemli bir potansiyele sahiptir. Bu yapıların üretiminde vakum dekompozisyon tekniği, karbon kaynağını doğrudan karbür tabanlı alttaşlardan sağlaması, reaktif gaz (ör. CH4) ve katalizör kullanımına ihtiyaç duymaması gibi avantajlar sunar. Ayrıca karbonun biriktirme yerine dekompozisyon yoluyla oluşturulması, alttaş ile güçlü bir arayüz sağlar. Ancak, bu teknikle yapılan çalışmalar sınırlı sayıda grup tarafından tekrarlanabilmiştir. Hassas proses koşulları, karbür tabanlı alttaşın özellikleri, ortam atmosferi, deneysel altyapı farklılıkları ve malzeme karakterizasyon yöntemlerindeki analizlerdeki farklılıklar gibi sebeplerden ortaya çıkmaktadır. Bu çalışma, silisyum karbür (SiC) alttaş üzerinde karbon nanoyapıların vakum dekompozisyon yöntemiyle sentezi ve karakterizasyonuna odaklanmaktadır. Proses parametrelerinin (sıcaklık, süre, karbür yüzeyi vb.) etkilerinin çapraz doğrulama yoluyla incelenmesi ve literatürde araştırılmamış proses atmosferlerinin (vakum, CH4, N2, CO2) oluşan yapılara etkisinin araştırılması hedeflenmiştir. Elde edilen numunelerin elektrik alan emisyonundaki potansiyeli de değerlendirilmiştir.
520			_aCarbon nanostructures (such as graphene and CNTs), especially when vertically aligned, hold significant potential for electron field emission cathode applications. The vacuum decomposition technique offers advantages in producing these structures, including sourcing carbon directly from carbide lattice, eliminating the need for reactive gases (e.g., CH4) or catalysts, and forming strong interfaces with substrates due to decomposition instead of deposition. However, reproducing these results has been limited to a few research groups due to factors such as precise process conditions, the properties of carbide-based substrates, atmospheric effects during the process, variations in experimental setups, and differences in material analysis techniques. This study focuses on the synthesis and characterization of carbon nanostructures on silicon carbide (SiC) substrates using the vacuum decomposition method. It aims to systematically investigate the effects of process parameters (such as temperature, duration, carbide surface) through cross-validation of known literature findings and to explore the previously unexamined impacts of process atmospheres (vacuum, CH4, N2, CO2) on the resulting structures. Additionally, the potential of these structures in electron field emission applications will be evaluated using selected samples.
650		7	_aTezler, Akademik _2etuturkob _932546
653			_aKarbon nanoyapılar
653			_aSilisyum karbür
653			_aVakum dekompozisyonu tekniği
653			_aElektron alan emisyonu
653			_aCarbon nanostructures
653			_aSilicon carbide
653			_aVacuum decomposition technique
653			_aElectron field emission
700	1		_aBüke, Göknur _eadvisor _9125245
710			_aTOBB Ekonomi ve Teknoloji Üniversitesi. _bFen Bilimleri Enstitüsü _977078
942			_cTEZ _2z
999			_c200464081 _d82293